磁轴承是继油润滑、气润滑之后轴承行业又一次革命性变化,为传统产业增加了高科技产品。这种精密的机电一体化产品,除了在真空分子泵中应用外,还在军工、航天航空、石油石化、能源等领域有着广阔的前景。
由浙江飞旋科技有限公司总经理洪申平为项目负责人的研发团队,在国内率先研发成功了适用于集成电路装备应用的分子泵磁轴承。他们在国内首次将一种5自由度控制的磁悬浮轴承用于分子泵,并采用交叉反馈的控制技术,解决了挠性转子在高转速下的陀螺效应问题,提高了转子的稳定性;采用了本机动平衡技术,有效地降低了转子的振动。
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