ES-397 蝕刻灰化殘留物清洗劑
包裝
塑料桶
規格
25KG/桶、200KG/桶

本品是由多種高效、環保清洗材料復合而成,對蝕刻或灰化后沉積在半導體基板或介電材料層上的殘留物(光刻膠殘留物、有機金屬化合物、金屬氧化物、金屬氮化物等)有優異的清潔能力,而對曝露的襯底材料無腐蝕。
a) 高效性:快速溶解各種殘留物并使其脫落,操作簡單方便。
b) 安全性:對曝露的襯底材料無腐蝕。
C)環保性:不含氨氮和磷等禁用物質,易降解,屬于環保型產品。
根據實際工作條件,可采用浸泡清洗、超聲波清洗等使用方法,一般建議采用原液加溫至40℃~65℃使用,清洗時間可根據實際情況控制在3min~15min左右;清洗完成后用去離子水后超純水清洗,清洗的次數和時間由現場工藝要求來決定。
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